审计处设立于2003年6月，下设财务审计科、工程审计科、经济责任审计科，正式在编在岗人员11人。审计处是学校主管内部审计工作的职能部门，在学校党、政主要负责人的直接领导下开展内部审计工作，向其负责并报告工作。 2019年5月，为加强党对内部审计工作的领导，学校成立中共山东科技大学委员会审计委员会，审计委员会办公室设在审计处。

1999年度获“全省教育审计工作先进集体”；2005年度获山东科技大学“集体突出贡献奖”；2016-2020年连续五年荣获“全省教育审计先进集体”；多次荣获青岛市“内部审计工作先进集体”等荣誉称号。