审计处设立于2003年6月，下设财务审计科、工程审计科、经济责任审计科，正式在编在岗人员11人，其中青岛校区审计处10人，泰安校区审计办公室1人。审计处是学校主管内部审计工作的职能部门，在学校校长的直接分管下开展内部审计工作，向其负责并报告工作。审计处主要工作责任包括：

1.对学校及所属单位贯彻落实国家重大政策措施、学校发展规划、重大决策、重要措施、年度业务计划执行情况进行审计；

2.对学校及所属单位财政财务收支、预算执行情况和财务决算、经济管理和效益情况有关经济活动进行审计；

3.对学校及所属单位内部主要负责人履行经济责任情况进行审计，对管理及风险控制制度的建立和执行情况进行审计；

4.对基本建设、修缮项目的全过程进行跟踪审计，对工程量清单、控制价进行审核，对工程进行竣工结算审计。

2019年5月，为加强党对审计工作的领导，学校成立中共山东科技大学委员会审计委员会，校党委书记任主任，校长任副主任。委员会办公室设在审计处，办公室主任由审计处处长兼任。审计委员会办公室主要工作职责包括：

1.研究拟定全校审计监督发展规划和改革方案，协调推进审计项目实施、审计结果运用等事项，对审计查出问题整改工作进行督查;

2.研究处理向学校审计委员会提出的有关重要事项及有关请示，接受各校区、各部门、各单位涉及审计的重大事项和情况的报告，研究评估后向学校审计委员会提出建议;

3.整理编写年度审计工作总结、发现问题和整改情况，报学校审计委员会。提出年度审计计划，提交学校审计委员会会议审议决定;

4.承担学校审计委员会会议相关工作，准备会议议题、议程和材料，整理会议文件和会议纪要，负责会议精神的传达落实。

2005年度获山东科技大学“集体突出贡献奖”；2016-2023年连续八年荣获“全省教育审计先进集体”；多次获青岛市“内部审计工作先进集体”等荣誉称号。